惠允，副研究员，深圳市高层次人才。2014年于东南大学获测控技术与仪器专业学士学位，2019年于中国科学院大学获微电子学与固体电子学博士学位，期间前往美国加州大学欧文分校交流访学。2019年-2022年在中国科学院深圳先进技术研究院开展博士后研究。近年来主要从事高灵敏生物微机电系统研究，致力于发展面向重大疾病诊断的高灵敏高特异性生物电子微器件和传感微系统。以第一（共同第一）/共同通讯作者在Adv. Funct. Mater., IEEE Trans. Ind. Electron, Biosensors, Anal. Chim. Acta等发表期刊论文十余篇。近五年主持包括国自然青年基金、广东省自然科学基金面上项目、深圳市技术攻关重点项目、中国博士后基金面上项目、中国科学院深圳先进院优秀青年创新基金等各级纵向科研项目两百多万，作为核心骨干参与深圳市重点实验室及深圳市基础研究重点项目。

高灵敏生物微机电系统

1. 广东省自然科学基金-面上项目,2024A1515012157,2024-01至2026-12,15万元,在研,主持

2. 国家自然科学基金委员会,青年科学基金项目,62001460,2021-01至2023-12, 24万元,已结题,主持

3. 2022年度院优秀青年创新基金,青年培育项目,2023000554,2023-01-01 至 2024-12-31,16万元,已结题,主持

4. 深圳市科技创新委员会,技术攻关重点项目,重2020N042,2021-06至2024-06,800(120)万元,在研,合作主持

5. 中国博士后科学基金会,面上项目,2019M663180,2019-12至2022-03, 8万元,已结题,主持 

6. 深圳市科技创新委员会, 平台和载体专项, ZDSYS20220527171406014, 深圳市微纳生物传感重点实验室, 2023-03 至 2025-03, 500万元, 在研, 参与

7. 深圳市科技创新委员会, 基础研究重点项目, JCYJ20220818101412027, 2022-10 至 2025-10, 200万元, 在研, 参与